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PRODUCTS CENTER电阻率测试仪(RESmap )在对低电阻率晶锭和晶圆进行非接触式测量方式上拥有非常重要的重复性 Si | Ge | 化合物半导体 | 宽带隙 | 材料 | 金属 | 导电 | 氧化物和氮化物[ Ge | Si | SiC | InP | GaAs | GaN | InAs以及更多]
晶圆x射线晶体定向仪分拣系统Wafer XRD用于全自动分拣、晶体取向、optical notch and flat determination测定等。Si | SiC | AlN | 蓝宝石(Al2O3) | GaAs | Quartz | LiNbO3 | BBO和其他100多种材料。
Ingot XRD - 晶锭X射线定向仪有着*的XRD系统,用于单晶晶锭的自动定向、倾斜和对准研磨。SiC | Si| AlN | GaAs | Quartz | LiNbO3 | BBO和其他100多种材料。
Omega/Theta XRD- 定制的样品架用于微小圆柱体、大型晶铸或立方体晶体定向的夹具
Omega/Theta XRD- 摇摆曲线测量意味着在Theta-scan模式下进行测量,这需要一个测角仪。一个双晶体被带入主光束路径,以减少光谱宽度和发散度。然而,其副作用是强烈的强度降低。
Theta XRD晶锭粘接转移技术(堆垛 stacking),晶体(如SiC的晶锭)。这些需要在线切过程之前进行定向对准。Freiberg仪器公司提供了一个方便的支架系统,使用Omega-scan对准晶锭。整个堆垛被转移到线锯。平行的锯切可极大节省时间,极大提升生产效率,提高制造良率。
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