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当前位置:首页产品中心三维X射线显微镜(XRM)弗莱贝格--SDCOM小晶体样品台式X射线单晶定向仪

小晶体样品台式X射线单晶定向仪
产品简介

德国弗莱贝格SDCOM--小晶体样品台式X射线单晶定向仪能够测量小至1mm的晶体到或更大的样品,精度可达0.01°(视晶体质量而定),其主要应用omega扫描方法对样品进行超高速的晶体定位测量,配置了气冷式X射线管,操作过程无需水冷,适用于科学研究以及生产质量控制。

产品型号:弗莱贝格--SDCOM
更新时间:2024-09-12
厂商性质:代理商
访问量:1967

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技术特点

 --能够测量小至1mm的晶体到或更大的样品

 --各种样品架及输送夹具,用于线锯、抛光等

 --侧晶方向标记选项

 --SDCOM小晶体样品台式X射线单晶定向仪无水冷却

 --精可达0.01°(视晶体质量而定)

 --确定单晶的*晶格取向

 --使用Omega扫描方法的超高速晶体定位测量

 --气冷式X射线管,无需水冷

 --适合于研究和生产质量控制

 --手动操作(没有自动化选项)

 

晶体的方向是由反射位置决定的

 

►SDCOM可测材料

 --立方/任意未知方向:Si, Ge, GaAs, GaP, InP 

 --立方/特殊取向:Ag, Au, Ni, Pt, GaSb, InAs, InSb, AlSb, ZnTe, CdTe, SiC3C, PbS, PbTe, SnTe, MgO, LiF, MgAl2O4, SrTiO3, LaTiO3

 --正方:MgF2, TiO2, SrLaAlO4

 --六方/三角:SiC 2H, 4H, 6H, 15R, GaN, ZnO, LiNbO3, SiO2(石英),Al2O3(蓝宝石),GaPO4, La3Ga5SiO14

 --斜方晶系:Mg2SiO4 NdGaO3

 --可根据客户的要求进一步选料 

适合多种材料

 

►行业应用
 

平面方向的标记和测量

 --在晶圆片的注入和光刻过程中,需要平面或凹槽作为定位标记。切割过程中,晶片必须正确地对准晶圆片上易于切割的晶格面。因此,检查平面或缺口的位置至关重要。

 --为了确定平面或缺口的位置,就需要测量平面内的部件。由于Omega扫描法可以在一次测量中确定完整的晶体方位,基于此,便可以直接识别在平面方向或检查方向的单位或缺口。

 --SDCOM小晶体样品台式X射线单晶定向仪通过旋转转盘,可以将任何平面方向转换成用户的特定位置。在必须定义平面方向的情况下,这可以大大简化将标记应用到特定平面方向的过程。

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