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产品简介
简介：
GCIB-10S 离子源系统是一种高性能10千伏气体团簇离子束，用于快速、低损伤溅射和更高质量的表面分析。
GCIB 10S提供了大量有用的功能，包括实时集群大小测量和内置样本电流成像系统，以帮助您充分利用实验。
GCIB-10S 离子源系统具有完整的泵送系统和单独软件，是一种栓接式升级，将集束束溅射的力量引入现有的真空仪器，如XPS、SEM和SIMS。
主要参数：
| 主要应用 | 溅射 |
| 光斑尺寸 | 250 µm |
| 扫描范围 | 7.5 x 7.5 mm |
| 能耗范围 | 1 – 10 kV |
| 电流范围 | 60 nA |
| 法兰至机头长度 | 143 mm |
| 推荐工作距离 | 50 mm |
| 电源装置 | 3U x 19’’ rack mountable unit |
| 电源要求 | 110-240VAC 13A 50/60Hz |
| 软件要求 | PC running Windows 10 or later |
| 集成法兰规格 | NW 63 CF |
特点:
◇ 10kV氩团簇离子源，可选择Ar1至>Ar3000的团簇；
◇ 实时集群测量和调整；
◇ 采样电流成像；
◇ 光斑尺寸大，扫描范围宽，可均匀去除材料；
◇ 易于安装在许多高真空仪器上；
◇ 单独软件和基于web套接字的API，用于与第三方软件集成
应用技术：
GCIB 10S可去除不定碳和其他表面污染，而不会损坏基材， 同时还可对有机物和聚合物等软材料进行无损伤深度剖析。
右图显示了分别使用Ar1和Ar2000蚀刻原始PET表面前后的C 1s 峰值。数据清楚地显示了单原子Ar1束（红色）造成的化学损伤，而光谱在暴露于Ar2000束（蓝色）后几乎保持不变
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服务电话：
021-34685181
上海市松江区千帆路288弄G60科创云廊3号楼602室
wei.zhu@shuyunsh.com
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