C60-20S 离子源系统虽然所有离子束都会溅射或蚀刻，但我们的一些系统的表面是专为高效和快速溅射而设计的。溅射光束有三个特点：高电流、大光斑尺寸和宽视场。这些特性的结合意味着它们可以在大面积上尽快输送大剂量的离子，以优化蚀刻速率。

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